이준호 공주대 광공학과 교수<사진>는 지난달 27일 서울 코엑스인터컨티넨탈호텔에서 열린 '제9회 반도체의 날' 기념식에서 반도체산업의 발전과 국가 기술경쟁력 강화에 공로를 인정받아 한국반도체산업협회장상을 받았다.
이 교수는 반도체 검사 및 가공 관련 광학 분야 전문가로, 반도체 패턴 결함 검사 장비, 마스크/펠리클 검사 장비, 오버레이(overlay) 검사 장비 등의 국내 최초 개발에 참여해쓰며, 다수의 반도체 관련 국책 연구 개발 사업 을 완료했거나 진행 중이다.
현재 산업기술평가원, 삼성전자(주) 및 넥스틴(주)의 연구비 지원을 받아 연구개발하고 있는 다중초첨 광학 현미경 검사법(Through-focus scanning optical miscosopy)은 최근 요구되고 있는 수~수십 nm수준의 3차원 반도체 공정 오류를 검사할 수 있는 획기적인 연구로 관심을 받고 있다. 이 연구에는 공주대 이준호 교수 외에 서울대 강명중 교수, 인천대 조중휘 교수, 고려대 김휘 교수가 참여하고 있다.
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